參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校,、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外),。

中析研究所始終以科學(xué)研究為首任，以客戶為中心,，在嚴(yán)格的程序下開(kāi)展檢測(cè)工作,，為客戶提供產(chǎn)品檢測(cè)及質(zhì)量控制的解決方案，竭誠(chéng)為廣大客戶提供正規(guī)科學(xué)的檢驗(yàn)檢測(cè),、研發(fā)分析服務(wù),。7-15個(gè)工作日出具掩膜版設(shè)備檢測(cè)報(bào)告，報(bào)告支持掃碼查詢真?zhèn)巍?/p>

檢測(cè)項(xiàng)目

分辨率檢測(cè),、尺寸檢測(cè),、對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)、位置檢測(cè),、缺陷檢測(cè),、光學(xué)性能檢測(cè)、電學(xué)性能檢測(cè),、耐久性檢測(cè),、化學(xué)性能檢測(cè)。

檢測(cè)范圍

掩膜刻蝕設(shè)備,、掩膜對(duì)準(zhǔn)設(shè)備,、掩膜曝光設(shè)備、掩膜清洗設(shè)備,、掩膜檢測(cè)設(shè)備,、掩膜修復(fù)設(shè)備、掩膜貼合設(shè)備,、掩膜測(cè)量設(shè)備,。

相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 40577-2021集成電路制造設(shè)備術(shù)語(yǔ)

SJ/T 11516-2015薄膜晶體管(TFT)用掩模版規(guī)范

檢測(cè)儀器

光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)儀,、電子束對(duì)準(zhǔn)儀,、光學(xué)測(cè)量?jī)x、電阻計(jì),、電容計(jì),、熱循環(huán)測(cè)試設(shè)備、濕度測(cè)試設(shè)備,、化學(xué)溶液浸泡測(cè)試設(shè)備,。

檢測(cè)方法

尺寸測(cè)量：使用光學(xué)測(cè)量?jī)x、掃描電子顯微鏡等設(shè)備對(duì)掩膜版的尺寸進(jìn)行測(cè)量,，以確定其準(zhǔn)確性和一致性,。

對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)：使用光學(xué)對(duì)準(zhǔn)儀、電子束對(duì)準(zhǔn)儀等設(shè)備對(duì)掩膜版的位置進(jìn)行檢測(cè)和調(diào)整,，以確保其與其他組件的對(duì)準(zhǔn)精度。

缺陷檢測(cè)：使用光學(xué)顯微鏡,、掃描電子顯微鏡等設(shè)備對(duì)掩膜版進(jìn)行缺陷檢測(cè),，如表面缺陷、裂紋,、污染等,。

光學(xué)性能檢測(cè)：使用光譜儀、光強(qiáng)測(cè)量?jī)x等設(shè)備對(duì)掩膜版的光學(xué)性能進(jìn)行檢測(cè),，如透射率,、反射率等。

電學(xué)性能檢測(cè)：使用電阻計(jì),、電容計(jì)等設(shè)備對(duì)掩膜版的電學(xué)性能進(jìn)行檢測(cè),，如電阻值、電容值等,。

耐久性檢測(cè)：使用熱循環(huán)測(cè)試設(shè)備,、濕度測(cè)試設(shè)備等對(duì)掩膜版進(jìn)行耐久性測(cè)試，以評(píng)估其在不同環(huán)境條件下的穩(wěn)定性和壽命,。

化學(xué)性能檢測(cè)：使用化學(xué)溶液浸泡測(cè)試設(shè)備等對(duì)掩膜版進(jìn)行化學(xué)性能測(cè)試,，以評(píng)估其對(duì)不同化學(xué)物質(zhì)的耐受性和穩(wěn)定性。

中析儀器 資質(zhì)